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潔凈室靜電是其運(yùn)行過程中不可或缺的會產(chǎn)生的東西，如果不可避免產(chǎn)生，只能盡量減少其帶來的危害了。那么潔凈室靜電如何避免危害呢?我們不妨從以下幾點(diǎn)做起：
一、靜電庫侖力吸上粉塵、污物帶給無器件，增大泄漏或造成短路，使性能受損，成品率和可靠性大大下降。如粉塵粒徑大于100pm、鋁線寬度約10(Vm、氧化膜厚度在50pm時，最易使產(chǎn)品報廢;現(xiàn)在線徑更細(xì)，氧化膜很薄，很小粒徑塵粒子就會損害元器件，這種情形多發(fā)生在腐蝕清洗、光刻、點(diǎn)焊和封裝等工藝過程中。
靜電放電
1)元器件的絕緣氧化膜被擊穿，引線被燒斷或線間融斷。若人體帶上10kV的靜電荷，觸摸器件腳時發(fā)生ESD,其向大地瞬間形成脈沖放電電流峰值可達(dá)20A，此時，就連一般的IC、MOS都會遭受損壞。
2)造成噪聲、發(fā)射電磁波干擾。ESD引起EMI其電磁波的前后峰較尖，信號強(qiáng)，相當(dāng)與電路中幾伏的能量，頻率跨越幾MHz、甚幾百MHz的強(qiáng)大噪聲，可能引起元器件損壞，設(shè)備和傳感器不正常工作，甚至引起設(shè)備死機(jī)。ESD引起的EMI還會引發(fā)錯誤信號的輸入，或發(fā)生鎖存現(xiàn)象。如潔凈室中，將晶片的EMIF箱放在鋼的手推車上，晶片的ESD會通過電感傳給手推車，車輪是絕緣的，則EMI的擴(kuò)散會引起晶片處理機(jī)死機(jī)。
3)電擊人體。人的ESD或?qū)θ说?span style="font-family:Times New Roman;">ESD當(dāng)超過人體電擊極限電流5mA以上時，人都會有各種傷害感覺,造成工作人員的情緒不安，以導(dǎo)致操作錯誤。半導(dǎo)體、平面顯示器、光電子等潔凈室，盡管做了很多工作，但潔凈室的靜電問題仍然影響著生產(chǎn)安全和產(chǎn)品、產(chǎn)量，影響著制造成本和效益，影響產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。
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