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電子制造業(yè)包括電子設備(計算機、電視、通訊設備、電子控制、電子儀器等)、電子元件(電阻、電容、電感器、印刷線路板等)、電氣器件(接插元件、電子管、晶體管、集成電路等)以及其專用原材料(高頻磁性材料、高頻絕緣材料、半導體材料等)的工業(yè)生產(chǎn)企業(yè)。
以上這些電子行業(yè)的生產(chǎn)工藝對環(huán)境潔凈度有不同程度的要求,從潔凈度100級、1000級到萬級、十萬級的電子無塵車間都有廣泛的應用,主要控制粒徑0.1-0.5UM的塵埃及細菌污染物,例如線路板PCB生產(chǎn)的照相、制版、SMT、干膜車間,芯片生產(chǎn)的蝕刻、離子注入、CMP車間;封裝企業(yè)的劃片、鍵合車間;電子儀器微電子的裝配車間;半導體材料生產(chǎn)的拉單晶、清洗、外延車間;液晶顯示器生產(chǎn)的陳列板、成盒、STN-LCD車間;鋰電子生產(chǎn)的干工藝車間;電容電阻生產(chǎn)的絲印、流延車間;光導纖維的拉絲、光盤制造車間等等。
電子制造業(yè)無塵車間有什么技術特點?
電子無塵車間涵括了多個等級潔凈室的應用,其中千級(粒徑≥0.5U塵粒,不大于35000顆/立方米)和萬級(粒徑≥0.5U塵粒,不大于350000顆/立方米)無塵潔凈車間在各個工藝環(huán)節(jié)使用占比較多。車間環(huán)境參數(shù)中的塵埃粒子數(shù)、溫度、濕度、壓差、設備排風、新風量嚴格按照潔凈規(guī)范控制, 照明、潔凈室截面風速可按用戶實際需求或潔凈規(guī)范受控。另外,電子廠房對靜電防護要求極其嚴格,因此對無塵車間的濕度控制指標尤甚,過于干燥車間內(nèi)部極易產(chǎn)生靜電,存在電子元件的損壞風險,而濕度不穩(wěn)定的環(huán)境也會縮短電子產(chǎn)品的車間壽命。一般來說,電子無塵車間的溫度應控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間,可有效地消除靜電,并使車間人員活動感覺舒適
概括來說,電子無塵車間有以下技術指標:
1. 塵埃粒子數(shù)控制范圍:
潔凈度級別 塵粒最大允許數(shù)/立方米
粒徑≥0.5UM 粒徑≥5UM
100級 3500 0
1000級 35000 0
10000級 350000 2000
100000級 3500000 20000
2、車間內(nèi)的噪聲級(空態(tài)):不應大于65dB(A)。
3、車間垂直流滿布比不應小于60%,水平單向流不應小于40%。
4、無塵車間內(nèi)與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5Pa。
5、車間室內(nèi)的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值:
(1)補償室內(nèi)排風量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
(2)保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40立方米。
7、車間的送風量應取下面三項最大值:保證電子無塵車間空氣潔凈度等級的送風量;根據(jù)熱,濕負荷計算確定電子無塵車間的送風量;向無塵車間內(nèi)供給的新鮮空氣量。